Рассмотрен микроволновый метод измерения уровня вещества в емкости с повышенными чувствительностью и точностью, при котором размещают в емкости волноводный резонатор, уровень вещества в котором равен его уровню в емкости. В волноводном резонаторе возбуждают электромагнитные колебания и измеряют их резонансную частоту. В полости резонатора размещают вещество с хотя бы одним частотно-зависимым электрофизическим параметром. Частотный диапазон изменения этого параметра выбирают в пределах изменения резонансной частоты резонатора, которое имеет место при заполнении полости резонатора контролируемым веществом. В качестве вещества с хотя бы одним частотно-зависимым электрофизическим параметром используют воду, заключенную в герметичную кювету, размещаемую в полости резонатора у его верхнего торца, а в качестве электрофизического параметра воды – ее диэлектрическую проницаемость.