84608

Автор(ы): 

Данилин К. Д. (ИПУ РАН, Лаборатория 03)
Семенищев Е. А. (МГТУ "СТАНКИН")

Автор(ов): 

2

Параметры публикации

Тип публикации: 

Тезисы доклада

Название: 

Разработка алгоритма идентификации технологических меток на полупроводниковых пластинах

Электронная публикация: 

Да

Наименование конференции: 

  • XV Конгресс молодых ученых ИТМО (Санкт-Петербург, 2026)

Наименование источника: 

  • Сборник тезисов докладов XV Конгресса молодых ученых ИТМО (Санкт-Петербург, 2026)

Город: 

  • Санкт-Петербург

Издательство: 

  • Университет ИТМО

Год издания: 

2026

Страницы: 

https://clc.li/DAhwA
Аннотация
Технология производства интегральных схем состоит из последовательности технологических операций: выращивания монокристаллического кремния, резка кремния на пластины, формирование рисунка интегральных схем и последующее разделение пластин на отдельные кристаллы. Для обеспечения контроля технологического цикла наносятся технологические метки. Увеличение объемов производства микроэлектронных компонентов требует разработки программного обеспечения, способного автоматизировать процесс распознавания меток в производственных условиях.

Библиографическая ссылка: 

Данилин К.Д., Семенищев Е.А. Разработка алгоритма идентификации технологических меток на полупроводниковых пластинах / Сборник тезисов докладов XV Конгресса молодых ученых ИТМО (Санкт-Петербург, 2026). СПб.: Университет ИТМО, 2026. С. https://clc.li/DAhwA.