Исследована возможность идентификации жидких веществ по эффективности их испарения с кремниевой подложки. В качестве тестовых использованы две конструкции датчика. Первый тип датчика представляет собой кремниевый стержень с термоизолированными боковыми стенками, нагруженный жидкостью с одного из торцов и зондируемый объемной акустической волной. Второй датчик представляет собой кремниевую пластину, нагруженную жидкостью с одной стороны, и зондируемую поверхностной акустической волной, распространяющейся с противоположной стороны пластины. Показано, что в обеих структурах благодаря высокой теплопроводности кремния температурные изменения испаряющегося вещества передаются практически без изменений зондирующим волнам, меняя их скорость. Установлено, что в ходе основного этапа испарения температура капли практически не меняется, а на последнем этапе она испытывает квазипериодические температурные вариации, сопровождаемые разрывами капли на отдельные островки и их бурным исчезновением. Измерены температура и скорость испарения капель этилового спирта, изопропилового спирта, ацетона и n-гексана объемом порядка 10 мкл.