Разработаны компьютерные модели чувствительных элементов (ЧЭ) интегральных термоанемометров для преобразования информационных сигналов в микро-струйной технике: 1) из тонкопленочного металлического резистивного материала, форми-руемого внутри канала; 2) из магниторезистивного материала с индуктивным элементом. Проведен сравнительный анализ материалов ЧЭ. Предложены схемы термоанемометриче-ских измерений с активным и пассивным нагревом ЧЭ.