В работе построена компьютерная модель трехкаскадного микроструйного генератора планарной конструкции с характеристическим размером 100 мкм. Проведено компьютерное моделирование рабочего процесса в трёхкаскадном микроструйном генераторе планарной конструкции с шириной канала питания 100 мкм с целью определения его номинальных и предельных функциональных характеристик. Установлена зависимость скорости в канале питания от перепада давления, определена нижняя граница начала возникновения колебательного процесса рабочего вещества. Получены распределения скоростей и давлений рабочего вещества внутри рассматриваемой конструкции. Результаты могут быть использованы при проектировании высоконадёжных струйных систем управления для авиационной и космической техники, работающих в условиях экстремальных воздействий, включая электромагнитные поля большой мощности и высокие уровни радиации и температур.