80979

Автор(ы): 

Скляринский Л. С. (ИПУ РАН, Лаборатория 25)
Сидняев Н. И. (МГТУ им. Н.Э. Баумана)

Автор(ов): 

2

Параметры публикации

Тип публикации: 

Тезисы доклада

Название: 

Исследование динамики взаимодействия атомарного кислорода с кремниевой поверхностью

ISBN/ISSN: 

978-5-7038-6069-4

Наименование конференции: 

  • Международная научная конференция «Фундаментальные и прикладные задачи механики» (Москва, 2023)

Наименование источника: 

  • Материалы Международной научной конференции «Фундаментальные и прикладные задачи механики» (Москва, 2023)

Обозначение и номер тома: 

Ч. 1

Город: 

  • Москва

Издательство: 

  • МГТУ им. Н. Э. Баумана

Год издания: 

2023

Страницы: 

128-129
Аннотация
Исследованы процессы, вызванные взаимодействием атомов и молекул кислорода с диоксидом кремния и материалами на основе диоксида кремния с учетом химических процессов в промежуточном слое между газом и поверхностью композиционно-го материалы в разряженных средах.

Библиографическая ссылка: 

Скляринский Л.С., Сидняев Н.И. Исследование динамики взаимодействия атомарного кислорода с кремниевой поверхностью / Материалы Международной научной конференции «Фундаментальные и прикладные задачи механики» (Москва, 2023). М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023. Ч. 1. С. 128-129.