79855 | ИПУ РАН

Автор(ы):

Автор(ов):

Параметры публикации

Тип публикации:

Тезисы доклада

Название:

Исследование возможностей интеграции процессов формирования покрытий для выращивания 1D-2D-материалов с технологией КМОП

ISBN/ISSN:

1993-8578

DOI:

10.22184/1993-8578.2021.14.7s.932.934

Наименование конференции:

VII Международный форум "Микроэлектроника 2021"

Наименование источника:

Журнал Наноиндустрия

Город:

Москва

Издательство:

АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"

Год издания:

2021

Страницы:

932-934

Аннотация

В работе исследуются методы выращивания 1D-2D-материалов, особенно- сти технологических процессов формирования покрытий и их совместимость с традиционной КМОП-технологией.

Библиографическая ссылка:

Тельминов О.А., Горнев Е.С., Янович С.И., Шарапов А.А., Мошкарова Л.А., Шахманова М.В. Исследование возможностей интеграции процессов формирования покрытий для выращивания 1D-2D-материалов с технологией КМОП / Журнал Наноиндустрия. М.: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера", 2021. С. 932-934.