79834

Автор(ы): 

Автор(ов): 

5

Параметры публикации

Тип публикации: 

Тезисы доклада

Название: 

Оценка возможности применения нейросетевого байесовского подхода к выявлению корреляции между параметрами тестовых элементов для межоперационного контроля технологического процесса и характеристиками формируемой транзисторной структуры

ISBN/ISSN: 

1993-8578

DOI: 

10.22184/1993-8578.2020.13.4s.559.560

Наименование конференции: 

  • VI Международный форум "Микроэлектроника 2020"

Наименование источника: 

  • Журнал Наноиндустрия

Город: 

  • Москва

Издательство: 

  • АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"

Год издания: 

2020

Страницы: 

559-560
Аннотация
Выполнен обзор применения байесовских сетей в решении практических задач, осуществлена оценка возможности применения байесовских сетей к задачам оптимизации промышленного производства полупроводниковых приборов.

Библиографическая ссылка: 

Тельминов О.А., Горнев Е.С., Мошкарова Л.А., Янович С.И., Морозов Е.Н. Оценка возможности применения нейросетевого байесовского подхода к выявлению корреляции между параметрами тестовых элементов для межоперационного контроля технологического процесса и характеристиками формируемой транзисторной структуры / Журнал Наноиндустрия. М.: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера", 2020. С. 559-560.