Рассмотрены основные процессы старения в современных КМДП сверх больших интегральных схемах, которые влияют на их долговечность, а именно пробой подзатворного тонкого диэлектрика, увеличение подпорогового тока утечки, изменения параметров металлизации и др.процессы, приводящие изменению передаточной характеристики вентилей и снижению помехоустойчивости.