38261

Автор(ы): 

Автор(ов): 

7

Параметры публикации

Тип публикации: 

Статья в журнале/сборнике

Название: 

Методы "мягкой литографии" при прототипировании быстродействующих струйных систем управления и их элементов

ISBN/ISSN: 

1819-5962

Наименование источника: 

  • Автоматизация в промышленности

Обозначение и номер тома: 

№ 6 2016

Город: 

  • Москва - Астрахань

Издательство: 

  • ООО Издательский дом "ИнфоАвтоматизация"

Год издания: 

2016

Страницы: 

55-58
Аннотация
Технологии и методы прототипирования микрофлюидных устройств находят широкое применение при решении многих задач управления в технике, медицине и проверке функциональной работоспособности новых микроаналитических систем управления. Рассмотрены особенности формирования микроструктур в фоторезисте SU-8 и создания реплик элементов струйных систем управления в полидиметилсилоксане методом «мягкой» литографии. Показано, что соотношение между шириной и высотой получаемых микроструктур определяется их формой, размерами, силой адгезии резиста к кремниевой подложке и эффективностью циркуляции проявителя вокруг микроструктур. Обсуждаемая технология использована при изготовлении микрофлюидных чипов струйных резервных разнородных систем управления, содержащих основной электронный канал и резервный канал на базе элементов струйной техники. Ключевые слова: струйная система управления, микрофлюидный чип, мягкая литография, фотолитография.

Библиографическая ссылка: 

Дудников Д.А., Букатин А.С., Кухтевич И.В., Малышев Е.И., Алферов И.Ж., Евстрапов А.А., Дубина М.В. Методы "мягкой литографии" при прототипировании быстродействующих струйных систем управления и их элементов // Автоматизация в промышленности. 2016. № 6 2016. С. 55-58.