Параметры документаНазвание: Устройство для измерения толщины диэлектрического покрытияНомер заявки: 2009148605Дата подачи заявки: 28.12.2009 Библиографическая ссылка: Ахобадзе Г. Н. Устройство для измерения толщины диэлектрического покрытия: Патент на изобретение № 2413180 РФ; Зарег. 27.02.2011.
