Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточного определения различных физических величин. К их числу относятся механические величины, геометрические параметры объектов, физические свойства веществ и др. К ним же относятся также электрофизические, акустические и другие параметры контролируемых объектов (материалов, веществ). Технический результат заключается в упрощении процесса измерения и повышении точности измерения. Для этого способ измерения физической величины заключается в возбуждении электромагнитных волн в волноводном резонаторе, размещении контролируемого объекта в волновом поле одного из торцевых участков волноводного резонатора и определении одной из характеристик стоячей волны в нем. При этом в волновом поле другого торцевого участка размещают идентичный объект с эталонным значением измеряемой физической величины. В качестве волноводного резонатора возможно использовать отрезок длинной линии, а в качестве его торцевых участков - идентичные измерительные ячейки.