Автор(ы): Миронова П. В. (ИПУ РАН, Лаборатория 14) НЕАКТУАЛЬНАЯ ЗАПИСЬЗотов В. Д. (ИПУ РАН, Лаборатория 15) НЕАКТУАЛЬНАЯ ЗАПИСЬАвтор(ов): 2 Параметры публикацииТип публикации: Статья в журнале/сборникеНазвание: Z-сенсоры - перспективное направление развития полупроводниковой микроэлектроники Наименование источника: Датчики и системыОбозначение и номер тома: № 4Город: МоскваИздательство: Издатель ООО "Сенсидат-Плюс"Год издания: 2014Страницы: 42-44 АннотацияВ статье рассмотрено состояние и перспективы развития полупроводниковой микроэлектроники, предложено новое направление развития полупроводниковой микроэлектроники, определены области применения представленных элементов. Библиографическая ссылка: Миронова П.В., Зотов В.Д. Z-сенсоры - перспективное направление развития полупроводниковой микроэлектроники // Датчики и системы. 2014. № 4. С. 42-44.
