Автор(ы): Зотов В. Д. (ИПУ РАН, Лаборатория 15) НЕАКТУАЛЬНАЯ ЗАПИСЬВиноградова Е. П. (ИПУ РАН, Лаборатория 02)Автор(ов): 2 Параметры публикацииТип публикации: Пленарный докладНазвание: Полупроводниковые многофункциональные сенсоры различных физических величин (Z-сенсоры)Наименование конференции: Московский Международный Салон промышленной собственности «Архимед»Город: МоскваИздательство: -Год издания: 2005Страницы: 3 Библиографическая ссылка: Зотов В.Д., Виноградова Е.П. Полупроводниковые многофункциональные сенсоры различных физических величин (Z-сенсоры) / . М.: -, 2005. С. 3.