1932

Автор(ы): 

Башин А. Ю. (ИПУ РАН, Лаборатория 02) НЕАКТУАЛЬНАЯ ЗАПИСЬ
Симаков А. Б. (?)

Автор(ов): 

2

Параметры публикации

Тип публикации: 

Статья в журнале/сборнике

Название: 

Радиационно-стимулированное термическое окисление кремния

Наименование источника: 

  • Журнал Микроэлектроника

Город: 

  • -

Издательство: 

  • -

Год издания: 

2006

Страницы: 

-

Библиографическая ссылка: 

Башин А.Ю., Симаков А.Б. Радиационно-стимулированное термическое окисление кремния // Журнал Микроэлектроника. 2006. С. -.