Исследованы вопросы использования рассеяния и дифракции электромагнитных волн для измерения физических параметров технологических процессов. Теоретическими результатами обоснована целесооразность применения дифракции Фраунгофера для решения задачи измерения концентрации и размеров частиц различных материалов. Показана перспективность с точки зрения точности измерения рэлеевского рассеяния для построения микроволновых расходомеров сыпучих сред в трубопроводах.